圖5一13(a)是沉積態(tài)合金組織的形貌及選區(qū)電子衍射圖。這時，合金的形貌沒有任何特征，相應的衍射圖為一暈環(huán)。這表明薄膜的結構為非晶態(tài)的，其結構有序的范圍不超過幾個原子間距。但這還不能確定薄膜的結構是完全意義上的非晶態(tài)還是所謂的微晶結構.